[实用新型]一种具有三角形卡点的石墨舟有效
申请号: | 201920872878.2 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN209785897U | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 叶石标 | 申请(专利权)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 33304 杭州永航联科专利代理有限公司 | 代理人: | 罗伟清 |
地址: | 314300 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种具有三角形卡点的石墨舟。它解决了现有石墨舟采用传统的卡点,卡点磨损后使沟槽变深,导致硅片上呈现出来的勾点面积增大,以致影响产品的外观,降低有效面积,使用效果差等技术问题。本具有三角形卡点的石墨舟,包括若干个交错分布的石墨舟片,若干个交错分布的石墨舟片之间通过若干个上连接件和若干个下连接件串接,石墨舟片两端还和导电块组件相连,其特征在于,所述石墨舟片上具有若干个卡点,卡点为三角形卡点。本实用新型具有使用效果好的优点。 | ||
搜索关键词: | 石墨舟片 三角形卡 石墨舟 卡点 本实用新型 交错分布 面积增大 上连接件 下连接件 影响产品 有效面积 导电块 沟槽变 硅片 串接 磨损 | ||
【主权项】:
1.一种具有三角形卡点的石墨舟,包括若干个交错分布的石墨舟片,若干个交错分布的石墨舟片之间通过若干个上连接件和若干个下连接件串接,石墨舟片两端还和导电块组件相连,其特征在于,所述石墨舟片上具有若干个卡点,卡点为三角形卡点;所述上连接件包括上石墨棒和若干个陶瓷管一,上石墨棒包括两端的螺纹段一和中间的安装段一,安装段一的截面为半圆形,石墨舟片上具有呈半圆形的安装孔一,陶瓷管一上具有呈半圆形的定位孔一,石墨舟片和陶瓷管一依次套设在安装段一上,且陶瓷管一位于相邻两个石墨舟片之间,螺纹段一上还螺纹连接有石墨螺母一,陶瓷管一上还开设有避让槽一和避让槽二,下连接件包括下石墨棒和若干个陶瓷管二,下石墨棒包括两端的螺纹段二和中间的安装段二,安装段二的截面为圆形,石墨舟片上具有呈圆形的安装孔二,陶瓷管二上具有呈圆形的定位孔二,石墨舟片和陶瓷管二依次套设在安装段二上,且陶瓷管二位于相邻两个石墨舟片之间,螺纹段二上还螺纹连接有石墨螺母二。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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