[实用新型]一种便于放置探针卡的探针台有效
申请号: | 201920882033.1 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN210181160U | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 孙军 | 申请(专利权)人: | 无锡新微阳科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/073 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于晶圆测试的技术领域,涉及一种便于放置探针卡的探针台,其包括探针台本体、开设于探针台本体上的放卡槽、设置于放卡槽侧壁上的沿边,所述探针台本体上开设有容纳槽,所述容纳槽的横截面面积大于放卡槽的横截面面积,所述容纳槽位于放卡槽的下方,所述容纳槽与放卡槽贯通连接,所述容纳槽的侧壁上固定连接有用于承接探针卡的承接板,所述放卡槽的侧壁上开设有滑槽,所述沿边滑动连接于滑槽中,所述沿边与滑槽之间设置有用于固定沿边的固定装置;本实用新型具有能够对不同长度的探针卡进行放置,有利于晶圆的正常检测的效果。 | ||
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【主权项】:
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