[实用新型]一种探针台有效
| 申请号： | 201920882035.0 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210376580U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈超 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆检测的技术领域，涉及一种探针台，其包括探针台本体、开设于探针台本体上的放卡槽，所述探针台本体上开设有滑槽，所述滑槽沿竖直方向设置，所述滑槽沿垂直于地面方向设置，所述滑槽与放卡槽贯通连接，所述滑槽中滑动连接有滑块，所述探针台本体上开设有用于移动滑块的驱动装置，所述滑块的侧壁上开设有容纳槽，所述容纳槽与放卡槽贯通连接，所述容纳槽的侧壁上固定连接有用于支撑探针卡的承接板；本实用新型具有能够对不同长度的探针卡进行放置，有利于晶圆的正常检测的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 | ||
【主权项】：
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