[实用新型]用于探针台的晶圆防滑出结构有效
| 申请号： | 201920882104.8 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210181085U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 陈超 | 申请（专利权）人： | 无锡新微阳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆测试设备的技术领域，公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其技术方案要点是包括成对设置的第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂与片盒升降机构的上表面固接，所述第二支撑臂与晶圆匣的框体底面相抵，第二支撑臂一端与第一支撑臂铰接，另一端与第一支撑臂之间设有第三支撑臂，所述第三支撑臂位于晶圆匣的晶圆入口一端，具有能够有效防止晶圆从晶圆匣内滑出，避免晶圆磕碰在机架上的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 探针 防滑 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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