[实用新型]一种晶圆探针台

摘要

本实用新型涉及探针台，公开了一种晶圆探针台，其技术方案要点是包括探针台本体，探针台本体的上方开有放置槽，放置槽的下方开有检测通道，检测通道与放置槽相通，放置槽内固定连接有传导圆环，传导圆环的下方设有探针卡，探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间，传导圆环上穿设有传导顶针，探针台本体的上方设有盖板，盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱，导向柱固定连接在探针台本体上，盖板连接有过流板，当盖板贴合在探针台本体上时，过流板与传导顶针之间电性连接。本实用新型在检测过程中，探针台本体的上方设有盖板，盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量，以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度，提高了晶圆最终的测试精度。