[实用新型]真空炉积炭检测装置及真空炉有效
| 申请号： | 201920882898.8 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN209857840U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 张伟;胡勇;谭国棠;苏亮;邓从跃 | 申请（专利权）人： | 中山凯旋真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;F27D21/00;F27D25/00 |
| 代理公司： | 11438 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 528478 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开涉及真空炉技术领域，尤其涉及一种真空炉积炭检测装置及真空炉。该真空炉积炭检测装置包括支撑座、第一导电柱、第二导电柱和电阻测量器，其中：支撑座能够设于真空炉的加热腔内，且支撑座具有能够沉积积炭层的沉积面；第一导电柱及第二导电柱中至少一部分相对沉积面凸出设置；电阻测量器设于加热腔外，且具有正极接口和负极接口，正极接口与第一导电柱连接、负极接口与第二导电柱连接；电阻测量器、第一导电柱及第二导电柱能够与积炭层形成电流回路，电阻测量器能够测量出积炭层的电阻值。该真空炉积炭检测装置能够实时监测加热腔内的积炭情况，方便对积炭进行清理，并使真空炉避免出现因积炭而导致的故障。 | ||
| 搜索关键词： | 导电柱 真空炉 积炭 电阻测量器 检测装置 积炭层 加热腔 支撑座 沉积 负极接口 正极接口 电流回路 实时监测 凸出设置 电阻 测量 | ||
【主权项】：
1.一种真空炉积炭检测装置，其特征在于，包括：/n支撑座，能够设于真空炉的加热腔内，且所述支撑座具有沉积面，所述沉积面上能够沉积积炭层；/n第一导电柱，所述第一导电柱中至少一部分相对所述沉积面凸出设置；/n第二导电柱，所述第二导电柱中至少一部分相对所述沉积面凸出设置；/n电阻测量器，设于所述加热腔外，所述电阻测量器具有正极接口和负极接口，所述正极接口与所述第一导电柱连接，所述负极接口与所述第二导电柱连接；/n其中，所述电阻测量器、所述第一导电柱及所述第二导电柱能够与沉积在所述沉积面上的积炭层形成电流回路，所述电阻测量器能够测量出所述积炭层的电阻值。/n
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