[实用新型]一种TCO导电膜镀膜阴极组件有效
| 申请号： | 201920883111.X | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN210314467U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 石建华;孟凡英;谢毅;刘正新 | 申请（专利权）人： | 中威新能源（成都）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/16 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 何悦 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及TCO导电膜镀膜技术领域，目的是提供一种TCO导电膜镀膜阴极组件，其包括阴极模块和匀气装置。阴极模块为单体阴极或者阴极组，阴极组包括至少两个阴极结构，且至少两个阴极结构以孪生排列的方式设置于同一侧位置。所述匀气装置设置于所述阴极模块的两侧，且被设置用于提供差异化等离子体环境，所述阴极模块的两侧分别为高氧等离子体区和低氧等离子体区。该结构能够通过在阴极模块两侧分别设置高氧等离子体区和低氧等离子体区以实现功能差异化镀膜，优化非晶硅薄膜和TCO界面接触特性，提高太阳电池的光电转化效率，该结构设计合理，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tco 导电 镀膜 阴极 组件 | ||
【主权项】：
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