[实用新型]一种MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201920883255.5 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN210570713U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 朱福龙;曾鹏军;卢子淋;胡剑雄;陈前;徐伊昕;刘肖剑;王淼操 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 王世芳;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS陀螺仪，属于惯性测量器件领域。本实用新型的梳齿石英陀螺由具有一定厚度的z切石英晶体经过雕刻或者刻蚀加工而成，包括两个驱动叉指、两个感测叉指、多个驱动电极、多个感测电极和基座。驱动叉指和感测叉指并排布置并且均相距间隔，并关于基座中心线对称。驱动叉指和感测叉指的分离避免了叉指运动的耦合以及布置在叉指上的电极间的寄生耦合，保证了陀螺的测量精度。基座开圆弧槽和方槽结构降低了陀螺的工作模态阶数和工作频率，使得驱动叉指位移增大，还提高了叉指科式振动传递效率，从而增大了输出信号，并且隔离了陀螺的有效模态和干扰模态，保证了陀螺工作的稳定性。本实用新型的梳齿石英陀螺整体结构简单，易于加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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