[实用新型]一种硅片甩干装置有效
| 申请号： | 201920885370.6 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210165665U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李欢;卜廷宇 | 申请（专利权）人： | 扬州虹扬科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B25/02;F26B25/04;F26B25/16 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225116 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种硅片甩干装置，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，转盘上安装有转动机构，转动机构包括多个固定架和多个连接板，固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有连接板，本实用新型解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转，不利于装配硅片花篮的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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