[实用新型]内腔式磁控溅射设备的传动结构有效
| 申请号： | 201920885885.6 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN210826330U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李峰;薛道荣;韩成明;李强;王先锋 | 申请（专利权）人： | 河北道荣新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 054000 河北省邢台*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种内腔式磁控溅射设备的传动结构，所述内腔式磁控溅射设备具有中空腔室，所述传动结构包括传动杆，所述传动杆穿入所述中空腔室内，两端分别从所述中空腔室中伸出，在传动杆的外表面设有传动螺纹，并且在传动杆上套设有与传动螺纹形成螺纹连接的传动支架，每根镀膜管凭借数个传动支架套置在传动杆上，而且所述镀膜管的重心低于传动杆的回转中心一定幅度或者在所述镀膜管内下部置入有配重装置，使镀膜管无法自转。传动杆旋转动作，传动支架带动镀膜管从传动杆的一端穿入所述中空腔室，然后从传动杆的另一端穿出所述中空腔室，并在穿过中空腔室的过程中完成磁控溅射镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 内腔式 磁控溅射 设备 传动 结构 | ||
【主权项】：
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