[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊有效

专利信息
申请号: 201920890235.0 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN210134158U 公开(公告)日: 2020-03-10
发明(设计)人: 吴壮;张青涛;俞亚军;解孝辉 申请(专利权)人: 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/56;B65G39/02;B65G39/09;B65G49/06
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 陈婷婷
地址: 215222 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜设备中的传送辊,包括辊本体、连接轴、轴承、轴承座,连接轴一端部与辊本体同轴连接、另一端部与轴承连接,轴承设置在轴承座内,辊本体的端部开设有沿着其轴心线方向延伸的连接孔,连接孔内设置有绝缘轴套,连接轴的端部穿设在绝缘轴套内,连接孔的口部扣设有用于将连接孔与外界隔离的绝缘罩,连接轴通过连接螺钉与辊本体固定连接,连接螺钉与连接轴之间设置有绝缘螺钉轴套,轴承座和轴承之间设置有绝缘轴承套。辊本体、连接轴、轴承座两两之间都有被绝缘材料所阻隔、不会导通,避免因此所产生的玻璃表面缺陷,有效降低废品发生率并提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 真空 磁控溅射 镀膜 设备 中的 传送
【主权项】:
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