[实用新型]一种可穿戴产品曝光治具有效
申请号: | 201920891931.3 | 申请日: | 2019-06-14 |
公开(公告)号: | CN209879255U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 张磊 | 申请(专利权)人: | 苏州悦谱半导体有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 32234 苏州广正知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱春红 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可穿戴产品曝光治具,包括治具托盘、治具板、治具槽以及治具块,所述的治具板分别呈阵列排布在治具托盘内,所述的治具槽分别设置在每个治具板的左上角,所述的治具块分别安装在治具槽内,所述的治具块上表面的中间位置设置有圆形凹槽。通过上述方式,本实用新型提供的可穿戴产品曝光治具,可穿戴产品曝光治具,大大提高了曝光落图精度,满足了客户对同心度、图案完整性、对称性的要求,大大提高了产品的合格率,同时在BM2二次曝光过程中,省去了对位操作,缩短了产品的生产工期。 | ||
搜索关键词: | 治具 可穿戴 治具板 治具块 曝光 本实用新型 治具托盘 图案完整性 对位操作 二次曝光 圆形凹槽 阵列排布 上表面 同心度 合格率 客户 生产 | ||
【主权项】:
1.一种可穿戴产品曝光治具,其特征在于,包括治具托盘、治具板、治具槽以及治具块,所述的治具板分别呈阵列排布在治具托盘内,所述的治具槽分别设置在每个治具板的左上角,所述的治具块分别安装在治具槽内,所述的治具块上表面的中间位置设置有圆形凹槽。/n
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