[实用新型]一种用于刻蚀前处理的鼓气管有效

专利信息
申请号: 201920893162.0 申请日: 2019-06-13
公开(公告)号: CN210620619U 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 程灿 申请(专利权)人: 湖北优尼科光电技术股份有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 代理人: 黄君军
地址: 432500 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种用于刻蚀前处理的鼓气管,属于鼓气管技术领域。包括主管,主管外壁上设置有若干开孔,开孔处设置有细管。本实用新型使用周期由原来的一个月清理一次延长到了3个月以上,大大提高了了鼓气管的清理周期,且有效的避免了多次清理后管孔扩大的现象,进一步稳定制程,提高品质。
搜索关键词: 一种 用于 刻蚀 处理 鼓气
【主权项】:
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