[实用新型]一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201920895209.7 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN210085563U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王海;郭喜明;王英智;王开亮;刘洋;吴迪 | 申请（专利权）人： | 沈阳乐贝真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 王荣亮 |
| 地址： | 110135 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备，解决现有技术存在的靶材直径小，弧光不够细腻，溅射颗粒大，膜层均匀性差，涂层与基体的结合强度和韧性低，耐高温抗氧化能力弱的问题。包括内部设置有工件旋转架的真空室，其特征在于：真空室一侧的抽气口与真空抽气系统相连，真空室另一侧的开口处活动设置有真空密封门，真空密封门一端与真空室开口的侧部相铰接，真空密封门另一端锁固在真空室开口的外侧壁上；真空室的内侧壁上、抽气口的两侧，分别设置有两个电弧蒸发源组；真空密封门上设置有离化源和竖直布置的阳极。其设计合理，结构紧凑，工件表面膜层均匀性好，涂层与基体的结合强度高、韧性好，耐高温抗氧化能力强，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 硬质 涂层 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳乐贝真空技术有限公司，未经沈阳乐贝真空技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920895209.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于有色金属冶炼中的改进型渣溜槽
- 下一篇：一种医疗灭菌包装袋
- 同类专利
- 专利分类
