[实用新型]一种栅网豁口式金刚石膜制备装置

摘要

本实用新型涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种栅网豁口式金刚石膜制备装置。本实用新型解决了采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题。一种栅网豁口式金刚石膜制备装置，包括圆筒形反应室、外层水管、圆饼形载台、内层水管、径向支撑杆、圆饼形水冷腔、第一驱动电机、驱动齿轮、L形支撑杆、导电触头、热丝阵列、下集电环、上集电环、下圆形大导电栅网、上圆形大导电栅网、喇叭形导气罩、U形导气管、下圆形小导电栅网、上圆形小导电栅网、放电针、接地针、第二驱动电机、抽气孔、矩形窗孔、第一至第八电源。本实用新型适用于金刚石膜的大面积制备。