[实用新型]光伏电池背钝化沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种光伏电池背钝化沉积装置，具有一个主机室，主机室内至少具有一个工艺腔室，工艺腔室一端通过炉口法兰与腔室盖紧密连接，另一端与外部的尾气处理装置连通，工艺腔室的壁层结构是保护套管及石英衬管，或者是保护套管、石英管及石英衬管，在工艺腔室的端部设置有TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口，五个进气口均通入工艺腔室。本实用新型通过一台设备设立多个工艺腔室，每个工艺腔室内分时段先后实现氧化铝(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、氮氧化硅（SiOxNy）、氮化硅(Si3N4)等多层钝化膜或其中某几种薄膜的镀膜工艺，简化现有技术的多机设备或多腔室结构，降低生产成本，使操作更加便捷，提高生产效率。