[实用新型]一种旋转冲洗甩干机控制系统有效
| 申请号： | 201920906378.6 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN210015349U | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 谭世唯 | 申请（专利权）人： | 湖南新锐微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;G01D21/02 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转冲洗甩干机控制系统，包括电机、电机驱动器、编码器、主控模块、检测单元、开关单元、阀门单元、加热单元和用于供电的电源模块，电机与电机驱动器相连，编码器分别连接电机和电机驱动器，电机驱动器、检测单元、开关单元和加热单元分别与主控模块相连。本技术方案通过主控模块对电机的控制实现旋转甩干功能，通过主控模块对加热单元的控制实现烘干功能，通过检测单元对主控模块的反馈实现各项监控功能，通过主控模块对阀门单元的控制实现冲洗、加压、自清洁功能，通过开关单元保证系统运行过程中的稳定性和安全性；整套系统能够实现对半导体晶片冲洗甩干过程的全自动控制，并且功能完善，对半导体晶片的清洁效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 主控模块 电机驱动器 加热单元 开关单元 冲洗 半导体晶片 电机 阀门单元 编码器 甩干 检测 本实用新型 全自动控制 自清洁功能 保证系统 电源模块 功能完善 烘干功能 监控功能 控制系统 连接电机 清洁效果 运行过程 整套系统 甩干机 加压 供电 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种旋转冲洗甩干机控制系统，其特征在于，包括：电机(1)、电机驱动器(2)、编码器(3)、主控模块(4)、检测单元(5)、开关单元(6)、阀门单元(7)、加热单元(8)和用于供电的电源模块，所述电机(1)与电机驱动器(2)相连，所述编码器(3)分别连接电机(1)和电机驱动器(2)，所述电机驱动器(2)、检测单元(5)、开关单元(6)和加热单元(8)分别与主控模块(4)相连。/n
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