[实用新型]晶圆测试探针卡有效
| 申请号： | 201920908506.0 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN210604725U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘家铭;张孝仁;苏华庭 | 申请（专利权）人： | 元鼎丰投资有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 杜梦 |
| 地址： | 中国香港租庇*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆测试探针卡，包括上层基板和底层基板，在上层基板的上表面设置有第一内圆区域和第一外环区域，底层基板具有粘合板面和布线板面，粘合板面与上层基板的下表面粘合，布线板面设置有第二内圆区域和第二外环区域；其中，在第一内圆区域内环设有两路以上测试通道组成的第一路电导体，在第一外环区域内环设有两路以上测试通道组成的第二路电导体；在第二内圆区域内环设有两路以上测试通道组成的第三路电导体，在第二外环区域内环设有两路以上测试通道组成的第四路电导体。通过本实用新型能够整体提高晶圆测试探针卡的平整度，延长探针卡的使用寿命，提高测试精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 | ||
【主权项】：
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