[实用新型]硅片花篮输送翻转装置有效
| 申请号： | 201920914007.2 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN209981188U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 顾韻 | 申请（专利权）人： | 无锡市南亚科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 34158 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 宋萍 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片花篮输送装置，尤其是硅片花篮输送翻转装置，包括输送带，还包括花篮翻转装置，所述花篮翻转装置安装在输送带的一端，所述花篮翻转装置包括翻转架，所述翻转架转动安装在输送带的一端；翻转夹紧装置，所述翻转夹紧装置安装翻转架上，所述翻转夹紧装置用于将硅片花篮夹紧在翻转架上；翻转驱动装置，所述翻转驱动装置与翻转架连接，所述翻转驱动装置用于驱动翻转架翻转。本实用新型提供的硅片花篮输送翻转装置结构简单、翻转方便、翻转时间短、翻转效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转架 硅片花篮 翻转 输送带 翻转夹紧装置 翻转驱动装置 翻转装置 输送翻转装置 本实用新型 花篮 输送装置 转动安装 夹紧 驱动 | ||
【主权项】：
1.硅片花篮输送翻转装置，包括输送带，其特征在于，还包括/n花篮翻转装置，所述花篮翻转装置安装在输送带的一端，所述花篮翻转装置包括/n翻转架，所述翻转架转动安装在输送带的一端；/n翻转夹紧装置，所述翻转夹紧装置安装翻转架上，所述翻转夹紧装置用于将硅片花篮夹紧在翻转架上；及/n翻转驱动装置，所述翻转驱动装置与翻转架连接，所述翻转驱动装置用于驱动翻转架翻转。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
