[实用新型]一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置有效
| 申请号： | 201920914350.7 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN209802310U | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 邹典;沈芳沅;阮旸;王春涛;梁沛钊 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，运用于检测技术领域。本装置中的微投影仪与CCD相机放置于被测晶圆面同侧，被测晶圆装载于晶圆承载平台上，所述的微投影仪向被测晶圆表面投射光强编码的正弦灰度条纹，所述的CCD相机包括装有滤光光圈的镜头，镜头用于避免外部光线的干扰，CCD相机用于接收变形条纹，所述的晶圆承载平台具有与被测晶圆尺寸一致的凹槽；本实用新型结构简单易搭建，成本远低于现有测量仪器，采用的相位测量偏折技术精度可达纳米量级，可以实现晶圆翘曲度的高精度低成本测量。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 相位测量偏折 本实用新型 承载平台 晶圆翘曲 微投影仪 非接触式测量装置 光圈 检测技术领域 变形条纹 测量仪器 尺寸一致 晶圆表面 纳米量级 外部光线 镜头 低成本 投射光 条纹 灰度 滤光 同侧 圆面 正弦 装载 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于相位测量偏折的晶圆翘曲度非接触式测量装置，包括微投影仪、CCD相机、晶圆承载平台和控制计算机，其特征在于：/n所述的微投影仪用于产生经光强编码的正弦灰度条纹并投射在被测晶圆表面，设置于所述相位测量偏折的光路中的光源位置；/n所述的CCD相机包括装有光圈的镜头，用于接收经被测晶圆表面反射后经光圈滤光的变形条纹；/n所述的晶圆承载平台具有与被测晶圆尺寸一致的凹槽，用于承载被测晶圆，使晶圆保持无夹持状态。/n
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