[实用新型]单晶炉二次加料装置有效
申请号: | 201920915941.6 | 申请日: | 2019-06-18 |
公开(公告)号: | CN210134180U | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 闫龙;小暮康弘;曹启刚;王黎光 | 申请(专利权)人: | 宁夏银和半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种单晶炉二次加料装置,属于单晶硅生产设备技术领域。包括钼杆、石英套管、石英椎盖、石英筒体及固定架,石英套管套接于钼杆外侧,石英椎盖固定连接钼杆的一端,石英筒体套接于石英套管的外侧,石英筒体的内径小于石英椎盖的最大椎径,且石英筒体的底端与石英椎盖的外壁充分接触,固定架设置于石英筒体远离石英椎盖的一端,且连接石英套管。固定架的中心处贯穿开设有钼杆导向孔,钼杆贯穿通过所述钼杆导向孔,并能够相对钼杆导向孔滑动。石英筒体与石英套管之间形成的无阻挡物的料腔,从而减少下料阻力。由于石英套管相对石英套筒不固定,在二次加料过程中,石英套管随钼杆位移,金属钼暴露在原料中,造成原料的金属污染。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 二次 加料 装置 | ||
【主权项】:
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