[实用新型]一种真空转移台用真空转移装置

摘要

本实用新型是一种真空转移台用真空转移装置，加热烘箱内设置有真空腔体，真空腔体包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；第一磁力传递杆一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件传动连接，第二磁力传递杆一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件传动连接。第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体内均分别可以对A工件、B工件和组合工件进行支撑和加电，真空腔体与抽真空装置连通。该装置能够在真空环境内对管壳和工作光窗分别在不同空间内进行独立处理，并通过操作臂将管壳和工作光窗连接，再通过加热实现管壳和工作光窗的固定连接，形成内部真空的组合工件。

主权项

1.一种真空转移台用真空转移装置，包括工作台板（16），所述的工作台板（16）上表面设置有烘箱隔热板（2），所述的烘箱隔热板（2）上方设置有可分离的加热烘箱（6），所述的烘箱隔热板（2）和加热烘箱（6）可拼接形成独立空间，所述的加热烘箱（6）上表面与烘箱悬臂（8）固定连接，其特征在于：所述的加热烘箱（6）内设置有真空腔体（10），所述的真空腔体（10）包括并排设置的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体，相邻腔体之间通过通道相互连通；/n第一独立腔体内设置有A工件（4），第二独立腔体内设置有B工件（12），第三独立腔体设置在第一独立腔体和第二独立腔体之间，所述的第三独立腔体用于放置由A工件（4）和B工件（12）形成的组合工件（1），第一磁力传递杆（5）一端穿过第一独立腔体侧壁与A工件（4）传动连接，第二磁力传递杆（11）一端穿过第二独立腔体侧壁与B工件（12）传动连接，所述的第一磁力传递杆（5）与第一独立腔体侧壁的连接处密封连接，所述的第二磁力传递杆（11）与第二独立腔体侧壁的连接处密封连接；/n所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体顶部均设置有上观察窗（7），所述的第一独立腔体、第二独立腔体和第三独立腔体的侧壁均设置有侧观察窗（9），第一独立腔体底部开口处采用第一芯柱法兰（3）实现密封，所述的第一芯柱法兰（3）用于支撑A工件（4）以及对A工件（4）加电，第二独立腔体底部开口处采用第二芯柱法兰（13）实现密封，所述的第二芯柱法兰（13））用于支撑B工件（12）以及对B工件（12）加电，第三独立腔体底部开口处采用第三芯柱法兰（14）实现密封，所述的第三芯柱法兰（14）用于支撑组合工件（1）以及对组合工件（1）加电，所述的真空腔体（10）的侧壁开有抽气口（15），所述的抽气口（15）通过连接气道（17）与抽真空装置连通。/n