[实用新型]一种硅片花篮防撞抓取输送装置有效
| 申请号： | 201920919851.4 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN209981189U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 顾韻 | 申请（专利权）人： | 无锡市南亚科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 34158 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 宋萍 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片花篮抓取装置，尤其是一种硅片花篮防撞抓取输送装置，包括水平移动直线模组，还包括抓取连接座，所述抓取连接座固定在水平移动直线模组的滑台上；抓取升降装置，所述抓取升降装置固定在抓取连接座上；抓取横梁，所述抓取横梁固定在抓取升降装置上；吊爪座，所述吊爪座高度在抓取横梁的两端；吊爪直线轴承，所述吊爪直线轴承固定在吊爪座的两端；吊爪滑杆，所述吊爪滑杆滑动插在吊爪直线轴承上；及花篮吊爪，所述花篮吊爪安装在吊爪滑杆上。本实用新型提供的一种硅片花篮防撞抓取输送装置结构简单、能有效保护硅片花篮抓取装置，防止硅片花篮抓取装置或硅片花篮撞击损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 吊爪 抓取 硅片花篮 抓取升降装置 直线轴承 抓取装置 连接座 横梁 滑杆 本实用新型 输送装置 直线模组 防撞 花篮 滑动 | ||
【主权项】：
1.一种硅片花篮防撞抓取输送装置，包括水平移动直线模组，其特征在于，还包括/n抓取连接座，所述抓取连接座固定在水平移动直线模组的滑台上；/n抓取升降装置，所述抓取升降装置固定在抓取连接座上；/n抓取横梁，所述抓取横梁固定在抓取升降装置上；/n吊爪座，所述吊爪座高度在抓取横梁的两端；/n吊爪直线轴承，所述吊爪直线轴承固定在吊爪座的两端；/n吊爪滑杆，所述吊爪滑杆滑动插在吊爪直线轴承上；及/n花篮吊爪，所述花篮吊爪安装在吊爪滑杆上。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
