[实用新型]单带式硅片分离输送装置有效
申请号: | 201920920473.1 | 申请日: | 2019-06-18 |
公开(公告)号: | CN210286075U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 顾韻 | 申请(专利权)人: | 无锡市南亚科技有限公司 |
主分类号: | B65H3/12 | 分类号: | B65H3/12 |
代理公司: | 合肥方舟知识产权代理事务所(普通合伙) 34158 | 代理人: | 宋萍 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅片输送装置,尤其是单带式硅片分离输送装置,包括输送带,所述输送带上设有多个吸附孔;还包括输送座;主动轮,所述主动轮安装在输送座的一端;从动轮,所述从动轮安装在输送座的另一端,所述输送带套在主动轮和从动轮上;及吸盘,所述吸盘安装在输送座上,且位于输送带的背面,所述吸盘上设有多个吸气孔,所述吸气孔与吸附孔对应。本实用新型提供的单带式硅片分离输送装置结构简单、使用方便、能准确、平稳地实现硅片分离、输送、易加工装配。 | ||
搜索关键词: | 单带式 硅片 分离 输送 装置 | ||
【主权项】:
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