[实用新型]磁性材料表面蒸发镀铽或镝的设备有效
| 申请号： | 201920924105.4 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN210215522U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/14;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁性材料表面蒸发镀铽或镝的设备，包括真空室，位于真空室内的工件固定架，安装在工件固定架上的磁材工件，位于真空室内的电子束蒸发源和离子源；离子源的喷射方向朝向磁材工件，电子束蒸发源的喷射方向朝向磁材工件，电子束蒸发源和磁材工件相对移动或转动，离子源和磁材工件相对移动或转动。设备采用电子束蒸发源进行蒸发镀膜，实现铽或镝原材料在真空环境下被电子束轰击产生热能熔化挥发并在磁材工件表面沉积成膜，这种设备结构均较简单，很容易形成产业化生产应用，属于磁材表面镀铽或镀镝的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性材料 表面 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
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