[实用新型]一种电子显微镜原位力学性能测试芯片有效
| 申请号： | 201920925743.8 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN210534032U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 邰凯平;谭军;毛鹏燕;赵洋;康斯清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子显微镜原位力学性能测试领域，尤其涉及一种电子显微镜原位力学性能测试芯片。该芯片在单晶硅片上形成的两部分：一部分为固定端，通过固定件安装孔固定在电镜样品杆或支架上；另一部分为运动端，运动端通过与施力端连接件连接施加力的部件；固定端和运动端两部分通过相互配合的凹/凸部分相扣在一起，实现对样品载荷的施加。在双抛单晶硅片的两侧沉积氮化硅，一侧利用紫外光刻技术沉积铂电极，而后进行深硅刻蚀；另一侧进行等离子体刻蚀，先将氮化硅刻蚀出所需图形，而后利用湿法刻蚀对硅进行刻蚀，最后沉积钝化层，得到实现施加载荷和加热的电子显微镜原位力学性能测试芯片，对样品进行显微结构演化分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子显微镜 原位 力学性能 测试 芯片 | ||
【主权项】：
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