[实用新型]一种用于标注晶圆片参考点的治具

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于标注晶圆片参考点的治具。本实用新型的治具，包括：前侧板、后侧板、左侧板、右侧板和上侧板，前侧板、后侧板、左侧板、右侧板和上侧板围成容置空间，前侧板上设有第二定位辅助缺口和第一标记孔。晶圆片包括：晶圆本体和铁圈，铁圈上设有标记缺口，晶圆本体上设有第一定位辅助缺口。本实用新型的治具，治具的前侧板朝上水平放置，晶圆片以标记缺口指示的固定方向放入治具的容置空间内，当第一定位辅助缺口与第二定位辅助缺口重合时，在第一标记孔位置通过标志笔在晶圆本体上标注出参考点，即完成晶圆片参考点的标注，方便快捷，也避免了人为的数错晶圆片参考点的行列数的情况，保证标注的正确率。

主权项

1.一种用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，包括：前侧板、后侧板、左侧板、右侧板和上侧板；/n所述晶圆片包括：晶圆本体和铁圈；/n所述铁圈位于所述晶圆本体的圆周外侧，所述铁圈对应的上下左右四侧均设有切割直边，所述切割直边与所述晶圆本体上的切割槽平行或垂直，且所述铁圈在一切割直边的两侧设有标记缺口；/n所述晶圆本体上设有第一定位辅助缺口；/n所述前侧板和所述后侧板相互平行且相对设置，所述左侧板和所述右侧板相互平行且相对设置，所述前侧板、所述后侧板、所述左侧板和所述右侧板的顶端分别与所述上侧板垂直且固定连接，以围成一用于放置所述铁圈的容置空间，且所述标记缺口用于指示所述铁圈进入所述容置空间的进入方向；/n所述前侧板为透明板；/n所述前侧板上设有第二定位辅助缺口和第一标记孔；/n所述第二定位辅助缺口与所述第一定位辅助缺口对应；/n所述第一标记孔与所述晶圆片的参考点对应，用于标注所述晶圆片的参考点。/n