[实用新型]一种真空反应室上的可视窗结构有效
| 申请号： | 201920929183.3 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210206763U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王浩明 | 申请（专利权）人： | 苏州子山半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/03 | 分类号： | B01J3/03 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 薛芳芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上；本实用新型通过将石英玻璃直接安装在框架内，不仅拆卸更加方便，且安装过程中，石英玻璃不会产生位置偏移，密封性更好，并且由于受到框架的保护，拆装过程中能防止石英玻璃受到损伤，提高了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 反应 视窗 结构 | ||
【主权项】：
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