[实用新型]一种淬硬性材料研抛机抛头的防落锁装置有效
申请号: | 201920932521.9 | 申请日: | 2019-06-20 |
公开(公告)号: | CN209981169U | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 朱亮;卢嘉彬;郑丽霞;周锋;刘文涛;魏圳辰;赵志鹏;张帅;曹建伟;傅林坚 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/463 | 分类号: | H01L21/463 |
代理公司: | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型是关于淬硬性材料研磨设备领域,具体涉及一种淬硬性材料研磨机抛头的防落锁装置。包括止动垫块,升降伸缩气缸固设于止动垫块上端面上;两块防落锁垫块固定于止动垫块下端面上;止动垫块下方设有横置的伸缩气缸,伸缩杆穿过防落锁垫块与浮动接头连接;防落锁支撑螺杆沿竖向设于防落锁垫块外侧的止动垫块下端面上,防落锁支撑螺杆底部设有防落锁安装座,内沿横向设有伸缩气缸防落锁轴;浮动接头与伸缩气缸防落锁轴通过T6垫片连接。本实用新型在抛头抬升固定时做了机械上的硬限位;也可以保证抛头需要抬升固定时,即使气泵停止工作,伸缩气缸下端口不进气,抛头也不会迅速掉落,砸坏陶瓷盘或伤及工作人员。 | ||
搜索关键词: | 防落 伸缩气缸 止动垫块 抛头 垫块 本实用新型 浮动接头 硬性材料 支撑螺杆 锁轴 抬升 下端 锁安装座 研磨设备 上端 伸缩杆 锁装置 陶瓷盘 下端口 研磨机 掉落 垫片 固设 横置 进气 气泵 竖向 限位 升降 穿过 保证 | ||
【主权项】:
1.一种淬硬性材料研抛机抛头的防落锁装置,其特征在于:包括止动垫块、升降伸缩气缸和防落锁组件;/n所述升降伸缩气缸固设于止动垫块上端面上;/n所述防落锁组件有两组,对称设于止动垫块下端面相对两侧;防落锁组件包括防落锁垫块、伸缩气缸与伸缩气缸防落锁轴,两块防落锁垫块固设于止动垫块下端面上;止动垫块下方设有横置的伸缩气缸,伸缩气缸伸缩杆穿过防落锁垫块与浮动接头连接;/n防落锁支撑螺杆沿竖向设于防落锁垫块外侧的止动垫块下端面上,防落锁支撑螺杆底部设有防落锁安装座,防落锁安装座内沿横向设有伸缩气缸防落锁轴;所述浮动接头与伸缩气缸防落锁轴通过T6垫片连接。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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