[实用新型]用于检测涂层浓度的取样坩埚有效
| 申请号： | 201920934114.1 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210108817U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 邓红;李常国;王建军;何玉鹏 | 申请（专利权）人： | 宁夏富乐德石英材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N33/00 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 郑重;孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于检测涂层浓度的取样坩埚，属于石英坩埚质量监测技术领域。包括坩埚本体及至少一个取样薄片，所述取样薄片设置于所述坩埚本体内壁的预定位置上。生产时，将若干所述用于检测涂层浓度的取样坩埚随机放置于待喷涂的坩埚批次中，进行正常的涂层喷涂作业。作业结束后，取下所述取样薄片，对取样薄片上的涂层浓度进行分析，从而以取样薄片上的涂层浓度代表坩埚各部位的涂层浓度，检测方便快捷，具有高的精准度。同时，实现对坩埚不同部位的涂层浓度进行精准的定点检测，针对性强。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 涂层 浓度 取样 坩埚 | ||
【主权项】：
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