[实用新型]一种六氟化硫杂质分析仪有效
| 申请号： | 201920942819.8 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN210401330U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 邹向宇;许峰;韩宁;张涛 | 申请（专利权）人： | 苏州赛普睿特仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李艾 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种六氟化硫杂质分析仪。包括进样管路、出样管路、第一分析通道和第二分析通道；第一分析通道包括：与出样管路的入口相连的十通阀，十通阀上设有第一定量环、第一载气入口、设有TCD检测器的PorapakQ色谱柱；第二分析通道包括：与进样管道的出口相连的第一六通阀，以及与第一六通阀连接的第二六通阀，第一六通阀上设有第二定量环、第二载气入口、第一Gaspro毛细柱，第二六通阀上设有第三载气入口、载气出口、设有FPD检测器的二Gaspro毛细柱，第一Gaspro毛细柱设置在第二选择阀与第三选择阀相连接的管路中间。本实用新型通过双通道及进样阀门的设置，一次进样，就能够分析检测六氟化氢中的多种杂质，并且检测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 六氟化硫 杂质 分析 | ||
【主权项】：
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