[实用新型]磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构有效
| 申请号： | 201920945719.0 | 申请日： | 2019-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN210176942U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 丁磊;李晓哲 | 申请（专利权）人： | 厦门玉通光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构，包括屏蔽罩、磁铁和靶材，磁铁与屏蔽罩通过若干个带滚牙螺帽紧固固定，带滚牙螺帽从屏蔽罩底部向上打入并延伸至磁铁中部，带滚牙螺帽外部设有滚牙、内部设有内螺纹，靶材设于屏蔽罩内且位于磁铁上，靶材与磁铁通过若干个紧固螺杆固定，紧固螺杆数量与带滚牙螺帽一致，紧固螺杆从靶材顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽内，紧固螺杆底部的外螺纹与带滚牙螺帽内部的内螺纹完全匹配；屏蔽罩与磁铁通过带滚牙螺帽紧固，滚牙产生较大摩擦力拆卸更换时屏蔽罩不易松动脱落，无需全部拆下，更换简单效率高，省时省力，劳动强度小人工成本低，不易碰伤砸伤安全隐患小。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 卷绕 镀膜 阴极 固定 改进 结构 | ||
【主权项】：
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