[实用新型]凹面阵列的石墨烯-金属异质结光电探测器

摘要

本实用新型公开了一种能够增加了受光面，增加石墨烯对光的吸收，避免转移过程对石墨烯造成的破坏的凹面阵列的石墨烯‑金属异质结光电探测器。该凹面阵列的石墨烯‑金属异质结光电探测器，包括衬底；所述衬底上由下至上依次设置有绝缘层、生长层、石墨烯层；所述衬底上设置有阵列分布的向下凹陷的凹槽；所述绝缘层上设置有与凹槽匹配的第一凸面；所述生长层上设置有第二凸面；所述石墨烯层上设置有第三凸面；所述石墨烯层的第三凸面的内凹槽内壁上设置有增透层；所述石墨烯层上第三凸面内凹槽的两侧分别设置有波浪形叉指的高功函电极和低功函电极。采用该凹面阵列的石墨烯‑金属异质结光电探测器，具有体积小，集成度高，识别范围广等特点。