[实用新型]研磨液手臂以及化学机械研磨机台有效
| 申请号： | 201920954848.6 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210650151U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 岳志刚;辛君;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B53/017;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种研磨液手臂以及化学机械研磨机台。所述研磨液手臂包括壳体、研磨垫清洁刷以及驱动机构，所述研磨垫清洁刷设置于所述壳体下方，所述驱动机构与所述研磨垫清洁刷连接，并用于驱动所述研磨垫清洁刷移动及旋转以使所述研磨垫清洁刷接触并清洁研磨垫，在化学机械研磨机台处于研磨停止间隙或者待机时，所述驱动机构驱动所述研磨垫清洁刷的上下移动以及旋转，以使所述研磨垫清洁刷接触并清洁研磨垫，从而降低晶圆划伤几率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 手臂 以及 化学 机械 机台 | ||
【主权项】：
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