[实用新型]一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台有效
| 申请号： | 201920960242.3 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN209946633U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 姜燕燕;陆敏杰;周俊晨 | 申请（专利权）人： | 无锡星微科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 32262 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区太湖国际*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，包括大理石基座，大理石基座上平行设置有Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨，Y1向大理石导轨和Y2向大理石导轨上分别安装有Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置，Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置之间垂直连接有平行的X1向导轨和X2向导轨，X1向导轨和X2向导轨上通过气浮相互作用设置有X向气浮导向装置，X向气浮导向装置上安装有载物台。本实用新型采用XY双向双驱气浮导轨，XY导向面均安装关节式气浮垫，可降低加工安装精度，从而实现大尺寸晶圆等检测的运动平台，且可使载物平面跳动1个微米，以满足行业尺寸日愈增大的趋势和日愈严格的检测要求，且维护简单，不污染洁净室。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨 气浮 导向装置 大理石 本实用新型 大理石基座 运动平台 晶圆 弯曲度检测 垂直连接 平行设置 气浮导轨 载物平面 导向面 关节式 洁净室 气浮垫 载物台 增大的 检测 平行 跳动 加工 污染 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于，包括大理石基座(1)，所述大理石基座(1)上平行设置有Y1向大理石导轨(8)和Y2向大理石导轨(7)，Y1向大理石导轨(8)和Y2向大理石导轨(7)上分别安装有Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置，所述Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置之间垂直连接有平行的X1向导轨(22)和X2向导轨(25)，所述X1向导轨(22)和X2向导轨(25)上通过气浮相互作用设置有X向气浮导向装置，所述X向气浮导向装置上安装有载物台(28)；所述X1向导轨(22)上安装有X向光栅尺(37)，与所述X向光栅尺(37)相对应的X向读数头(45)通过X向读数头连接件(46)安装在载物台(28)底部；Y1向大理石导轨(8)和Y2向大理石导轨(7)相互背向的侧面上分别安装有Y1向光栅尺(17)和Y2向光栅尺(18)，对应所述Y1向光栅尺(17)的Y1向读数头(16)安装在Y1向气浮导向装置的Y1向驱动连接件(21)上，对应所述Y2向光栅尺(18)的Y2向读数头(19)安装在Y2向气浮导向装置的Y2向驱动连接件(23)上；所述大理石基座(1)上通过Z轴支架安装有上光谱共焦传感器(14)所述大理石基座(1)上安装有下光谱共焦传感器(15)，所述下光谱共焦传感器(15)设置在载物台(28)正下方，所述上光谱共焦传感器(14)和下光谱共焦传感器(15)同轴设置。/n
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