[实用新型]一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台有效
| 申请号： | 201920960502.7 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN210486802U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 陆敏杰;姜燕燕 | 申请（专利权）人： | 无锡星微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B5/00;G01N21/892;G01N21/89 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区太湖国际*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台，包括大理石基座；大理石基座上安装有一对平行设置的Y向大理石导轨和Y向大理石导轨，Y向大理石导轨和Y向大理石导轨上分别设置有Y向滑块和Y向滑块，外侧面均设置有Y向电机定子连接件和Y向电机定子连接件，Y向滑块和Y向滑块上均设置有Y向光栅读数装置，Y向滑块和Y向滑块之间通过Y向横梁件连接构成Y向整体滑块。本实用新型载物台采用中空设计，Y轴采用Y1/Y2双向∩型气浮双驱设计，可提高平台整体固有频率，降低加工和调试难度，保证X向精度及运动速度；且载物面跳动在1微米之内，满足行业尺寸日愈增大和日愈严格的检测要求；气浮平台维护简单，不污染洁净室。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 尺寸 厚度 检测 平台 | ||
【主权项】：
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