[实用新型]平面结构沟道金氧半场效晶体管有效

专利信息
申请号: 201920963740.3 申请日: 2019-06-25
公开(公告)号: CN210224042U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 潘继;徐鹏 申请(专利权)人: 无锡沃达科半导体技术有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/06
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 王闯;葛莉华
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种平面结构沟道金氧半场效晶体管。平面结构沟道金氧半场效晶体管包括基体,基体自下而上分别包括第一基板和第二基板,第一基板为P型晶圆基板,第二基板经过深N‑阱工艺处理。第二基板的上表面形成有多个相互间隔的沟道,沟道中形成有栅极,沟道的相邻两侧分别形成有源极和漏极,栅极、源极和漏极位于基体的同侧。本实用新型中沟道型栅极和同侧设置的栅极、源极和漏极结构可以提高导通性能,减小单元间距,从而降低集成电源芯片的单位导通电阻,提高导通性能,并将同性能条件下的晶体管面积减小一半左右,同时便于在同一基体上集成多个晶体管结构。
搜索关键词: 平面 结构 沟道 半场 晶体管
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡沃达科半导体技术有限公司,未经无锡沃达科半导体技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920963740.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top