[实用新型]平面结构沟道金氧半场效晶体管有效
申请号: | 201920963740.3 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN210224042U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 潘继;徐鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡沃达科半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/06 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 王闯;葛莉华 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种平面结构沟道金氧半场效晶体管。平面结构沟道金氧半场效晶体管包括基体,基体自下而上分别包括第一基板和第二基板,第一基板为P型晶圆基板,第二基板经过深N‑阱工艺处理。第二基板的上表面形成有多个相互间隔的沟道,沟道中形成有栅极,沟道的相邻两侧分别形成有源极和漏极,栅极、源极和漏极位于基体的同侧。本实用新型中沟道型栅极和同侧设置的栅极、源极和漏极结构可以提高导通性能,减小单元间距,从而降低集成电源芯片的单位导通电阻,提高导通性能,并将同性能条件下的晶体管面积减小一半左右,同时便于在同一基体上集成多个晶体管结构。 | ||
搜索关键词: | 平面 结构 沟道 半场 晶体管 | ||
【主权项】:
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