[实用新型]一种PECVD特气管路

摘要

本实用新型为太阳电池领域，具体涉及一种PECVD特气管路，包括特气管，与其相连通的管道组件，所述特气管上均匀开设气孔；所述气孔面积相同，呈直线排列，其开孔方向面向硅片；所述管道组件包括相连通的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件和三通接头；所述气孔包括气孔本体和气流引导装置，所述气流引导装置位于气孔本体外侧，所述气流引导装置从上到下横截面逐渐缩小，包括第一引导装置和第二引导装置，所述第一引导装置位于第二引导装置下方，所述第二引导装置的高度为第一引导装置的一半。本实用新型所述的PECVD特气管路能够优化气流的均匀性，减少生产过程中的气孔堵塞，降低设备维护成本。