[实用新型]一种由电容式绝压MEMS实现的小型化差压传感器有效
| 申请号： | 201920978892.0 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN209841267U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王志;褚月 | 申请（专利权）人： | 上海路溱微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 11572 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 200000 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于MEMS封装技术领域，尤其一种由电容式绝压MEMS实现的小型化差压传感器，以两组电容式绝压MEMS分别测量两个待测压力，并以其差作为差压检测结果，该小型化差压传感器包括芯片承载基板、金属容器、与芯片承载基板连接的信号处理电路以及与信号处理电路电连接的绝压MEMS传感器，所述信号处理电路、绝压MEMS传感器设置在金属容器内，所述金属容器安装在芯片承载基板上，所述绝压MEMS传感器与芯片承载基板电气连接，本实用新型可以用电容式绝压MEMS传感器来实现差压检测，实现更高的精度、更好的温度特性及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片承载 信号处理电路 金属容器 本实用新型 差压传感器 差压检测 电容式 基板 基板电气 基板连接 温度特性 电连接 两组 封装 测量 | ||
【主权项】：
1.一种由电容式绝压MEMS实现的小型化差压传感器，其特征在于：包括芯片承载基板(1)、金属容器(3)、与芯片承载基板(1)连接的信号处理电路(2)以及与信号处理电路(2)电连接的绝压MEMS传感器(4)，所述信号处理电路(2)、绝压MEMS传感器(4)设置在金属容器(3)内，所述金属容器(3)安装在芯片承载基板(1)上，所述绝压MEMS传感器(4)与芯片承载基板(1)电气连接。/n
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