[实用新型]一种便于组合的精密发射源座有效
申请号: | 201920982854.2 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN210176944U | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 邱艳;梁裕;王凤辉 | 申请(专利权)人: | 安徽天匠精密机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/46 | 分类号: | C23C14/46 |
代理公司: | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人: | 苏雪雪 |
地址: | 239300 安徽省滁州*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种便于组合的精密发射源座,包括传输头,所述传输头的一端安装有主体,所述主体的上端设置有固定槽,所述固定槽的下端设置有放置槽,所述固定槽的两端均设置有第一螺纹孔,所述主体的一侧安装有梯形滑块,所述主体的另一侧设置有梯形滑槽,所述梯形滑槽的一端安装有固定螺钉,所述主体的内侧安装有限位板,所述限位板的外表面设置有第二螺纹孔,所述主体的下端安装有转轴,所述转轴的外表面安装有轴承。本实用新型通过安装梯形滑块与主体的配合,使得该装置可以通过梯形滑块与梯形滑槽进行组合,通过安装齿轮柱与旋转杆的配合,使得该装置可以通过转动旋转杆进行调节离子溅射的角度。 | ||
搜索关键词: | 一种 便于 组合 精密 发射 | ||
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