[实用新型]三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备

摘要

本实用新型公开了三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备，其中三轴扫描振镜激光装置包括激光器（1）、第一反射镜（31）、第二反射镜（32）、扩束整形器（2）和三轴扫描振镜（3）；所述激光器发射的激光束（4）依次经过第一反射镜、第二反射镜、扩束整形器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜后射向多个加工平台；本实用新型用一个激光器发出的激光束通过三轴扫描振镜，依次射向多个加工平台，轮流加工位于多个加工平台上的晶圆，降低了整套设备的总成本，节省了用未加工晶圆替换已加工晶圆的时间，减少激光加工等待的时间，提升激光的使用率，增加激光设备产能至8000‑8500片每小时。