[实用新型]一种节能型气相沉积石墨化提纯炉

摘要

本实用新型公开了一种节能型气相沉积石墨化提纯炉，包括石墨化炉炉体以及设置在石墨化炉炉体内的坩埚，在所述坩埚内装有负极材料粉末，在所述坩埚的两端设置有正极电极和负极电极，所述正极电极和负极电极直接与坩埚内装填的负极材料粉末接触，所述正极电极和负极电极在两端产生的电压通过负极材料粉末，并直接在负极材料粉末内形成电流而发热。本实用新型采用电极直接加热负极材料的方式，并利用负极材料粉末自身通电发热，与现有技术相比，无需使用辅助发热的电阻料和石墨粉，因此，大大提高了产品装炉量，并节约了大量材料成本，而且加热效率更高，有效较低了能耗。