[实用新型]光点差分式非接触式元件厚度测量的光头及厚度测量装置有效
| 申请号： | 201920987358.6 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210220983U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王善忠;曹兆楼 | 申请（专利权）人： | 爱丁堡（南京）光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211123 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光点差分式非接触式元件厚度测量的光头及包含它的厚度测量装置。光头的光学系统包括光源、分光镜、第一聚光镜、柱面镜和相机；光源发出的光束经分光镜后，一部分光经过第一聚光镜聚成测量光点、落在被测元件表面；测量光点在被测元件表面反射，沿原光路返回，依次经过第一聚光镜、分光镜和柱面镜后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦线和Y方向的焦线，且在X方向的焦线和Y方向的焦线之间，形成呈中心对称的像点，相机设在像点处。本实用新型可实现各种类型待测元件厚度的非接触式测量，准确度高，结构简单；能方便准确找到被测透镜的中心；同时还能识别被测透镜是否倾斜；进一步，方便了安装、简化了测量、防止了污染。 | ||
| 搜索关键词： | 光点差 分式 接触 元件 厚度 测量 光头 装置 | ||
【主权项】：
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