[实用新型]一种精密双面研磨机的外齿抬升装置

摘要

本实用新型关于硅片精密研磨领域，特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板。减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连。丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上。链轮组件设于支撑地板上，并与丝杆底端相连，抬升板与螺母相连，齿圈套设于抬升板上。齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。本实用新型可以实现先将齿圈下降，然后方便的将游星片取出或安装。提高了效率，同时节省人力。