[实用新型]大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具有效
| 申请号： | 201921000206.9 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210481504U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 李想 | 申请（专利权）人： | 爱发科电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王闯 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸分割型溅射靶材用翻转治具，包括对称设置在加工平台两侧的机架，所述机架上设有可升降移动的载重板，所述载重板的下端分别设有翻转夹持机构、辅助承重机构，所述辅助承重机构位于所述翻转夹持机构与加工平台之间。所述翻转夹持机构包括立板，所述立板上设有可转动的翻转板，所述翻转板的一侧设有用于夹紧溅射靶材的夹持组件。所述辅助承重机构包括与所述载重板转动连接的角板，所述角板的下端设有可套装在溅射靶材上的承重吊带，所述承重吊带用于防止溅射靶材在翻转中滑脱。本实用新型通过机械配合实现了溅射靶材的自动翻转，减轻了工人的劳动强度，而且避免了翻转导致的溅射靶材表面擦伤，提高了溅射靶材的成品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 分割 溅射 靶材用 翻转 | ||
【主权项】：
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