[实用新型]一种真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201921001185.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN210620920U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 陈文祥;李佳乐;顾天宇 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开了一种真空蒸镀装置，包括真空容器以及设置在真空容器内的承载台，真空容器的顶部设有活动门板，真空容器的底部与承载台的台面之间设有多个蒸发源，且承载台的台面上设有与多个蒸发源一一对应的开孔；其中，每个蒸发源的腔体内设有坩埚，且坩埚的开口处设有向外突出的边沿；针对每一个坩埚，还包括坩埚载板以及用于控制坩埚载板上升或下降的升降机构，坩埚载板上设有与坩埚配合的通孔，且坩埚的边沿卡在通孔上。在升降机构的作用下，可以将坩埚升至真空容器的顶部，从而便于更换坩埚或向坩埚中填料；并且，坩埚相对蒸发源在竖直方向运动，避免了与蒸发源的腔壁发生碰撞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 装置 | ||
【主权项】：
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