[实用新型]晶圆料盒料箱清洗装置有效
| 申请号： | 201921015012.6 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN210279981U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王向阳 | 申请（专利权）人： | 上海东朋科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 张有金 |
| 地址： | 201707 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆料盒料箱清洗装置，它包括机体，所述机体内设置有密封腔室，为清洗室；所述清洗室内中间设置有旋转笼，旋转笼通过旋转机构旋转安装在机体上，旋转笼上沿着旋转笼一周圈均匀分布设置有若干晶圆料盒和/或晶圆料箱的放置架；所述清洗室内设置有喷淋清洗装置构、液切机构；所述喷淋清洗装置构从旋转笼中心、外周以及上下两侧依次向旋转笼喷淋纯水、药液；所述液切机构从旋转笼中心、外周以及上下两侧向旋转笼喷射氮气；所述纯水为温度小于等于90℃的纯水，所述药液为预备药液对晶圆料盒和/或晶圆料箱进行全方位的清洗、干燥，采用高温纯水和预备药液进行清洗，清洗干净，采用热风和氮气进行干燥，干燥效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆料盒料箱 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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