[实用新型]一种用于晶圆多点测试的探针卡

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆多点测试的探针卡，涉及探针卡领域，包括PCB板，PCB板的前侧面中部固定连接有探针基座，探针基座的前侧面固定连接有多个探针，探针包括探针筒和探针柱，探针柱设置于探针筒的顶端，探针柱的顶端设置为半圆形，探针柱的底端插入探针筒，探针柱的底端固定连接有挡盘，挡盘的直径大于探针筒筒口的内径，挡盘的下表面设有探针弹簧。本实用新型通过探针筒、探针柱、挡盘、滑槽以及探针弹簧的配合使用，能够对测试时产生的压力进行缓冲，避免过大的压力对探针柱造成损坏，同时能够保证探针柱与芯片接触，通过将探针柱的顶端设置为半圆形，能够延长探针柱的使用寿命，结构简单实用。