[实用新型]一种用于芯片封装的无尘车间有效
申请号: | 201921031981.0 | 申请日: | 2019-07-04 |
公开(公告)号: | CN210229455U | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 韩力 | 申请(专利权)人: | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
主分类号: | B01D46/30 | 分类号: | B01D46/30;B01D46/42;B08B15/00 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 马林中 |
地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于芯片封装的无尘车间,涉及无尘净化设备技术领域,解决了现有无尘车间中的通风过滤层清洁不方便的问题,本实用新型包括无尘车间的墙体,墙体上嵌设有方形的进风管,进风管中设置有过滤层,过滤层两侧均设置有密封百叶窗,两个密封百叶窗以及过滤层将进风管内部从左至右依次分别回风室、除尘室以及进风室,回风室左侧为无尘车间内部,进风管顶部设置有连通回风室与进风室的弯管,进风管底部设置有与除尘室对应的排尘管,进风管内设置有用于弯管两端管口以及排尘管管口启闭的开关机构。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 封装 无尘车间 | ||
【主权项】:
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