[实用新型]化学浴镀膜设备和化学浴镀膜系统有效

专利信息
申请号: 201921032224.5 申请日: 2019-07-03
公开(公告)号: CN210915837U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 徐鑫照 申请(专利权)人: 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22
代理公司: 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 代理人: 孟德栋
地址: 100176 北京市大兴区北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及镀膜领域,具体的涉及一种化学浴镀膜设备和化学浴镀膜系统。该化学浴镀膜设备,包括:镀膜腔室;柔性托盘,设置在所述镀膜腔室内,所述柔性托盘包括至少一个用于放置镀膜基板的容纳槽;传送装置,设置在所述镀膜腔室内,用于驱动所述柔性托盘绕所述传动装置转动;镀膜液喷射装置,设置在所述镀膜腔室内且位于所述柔性托盘的上方,用于向所述柔性托盘内喷射镀膜液。利用该设备能够解决目前镀膜工艺复杂、产能低的技术问题,达到简化工艺,提高产能的目的。
搜索关键词: 化学 镀膜 设备 系统
【主权项】:
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