[实用新型]化学浴镀膜设备和化学浴镀膜系统有效
申请号: | 201921032224.5 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN210915837U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 徐鑫照 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/22 | 分类号: | C03C17/22 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 孟德栋 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及镀膜领域,具体的涉及一种化学浴镀膜设备和化学浴镀膜系统。该化学浴镀膜设备,包括:镀膜腔室;柔性托盘,设置在所述镀膜腔室内,所述柔性托盘包括至少一个用于放置镀膜基板的容纳槽;传送装置,设置在所述镀膜腔室内,用于驱动所述柔性托盘绕所述传动装置转动;镀膜液喷射装置,设置在所述镀膜腔室内且位于所述柔性托盘的上方,用于向所述柔性托盘内喷射镀膜液。利用该设备能够解决目前镀膜工艺复杂、产能低的技术问题,达到简化工艺,提高产能的目的。 | ||
搜索关键词: | 化学 镀膜 设备 系统 | ||
【主权项】:
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